半導体技術によって作られたミクロの構造体のことでセンサーや電子回路が集積されたデバイスで、日本語では微小電気機械システムと呼ばれます。自動車の分野では横滑り防止装置など、「走る」「曲がる」「止まる」といった基本的な走行性能の安全を確保するシステムなどに使われています。